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硅片洗濯主动高低料机

硅片洗濯主动高低料机
概述
接纳TOPSTEK洗濯高低料机,共同硅片洗濯装备利用,未来料硅片由承载盒或花篮主动装载到洗濯装备中;待洗濯实现后,由皮带保送机装载到客户指定片盒内。 经由过程利用TOPSTEK洗濯高低料机,可取代野生操纵,下降野生功课强度及硅片碎片率,削减报酬二次净化,进步良率及产能。
  • 硅片洗濯主动高低料机

  硅片高低料机

  传统野生上料会形成硅片净化及破片,影响产物良率,华侈装备产能。
  接纳TOPSTEK洗濯高低料机,共同硅片洗濯装备利用,未来料硅片由承载盒或花篮主动装载到洗濯装备中;待洗濯实现后,由皮带保送机装载到客户指定片盒内。
  经由过程利用TOPSTEK洗濯高低料机,可取代野生操纵,下降野生功课强度及硅片碎片率,削减报酬二次净化,进步良率及产能。
  TOPSTEK洗濯高低料机,可集成MVC隐裂、水迹、双片、破片检测模块,晋升产物良率,为客户节流大批资本,有用下降本钱。

  产物规格:


装备尺寸 重叠8道装备 1.5mx2.9mx2m
  片盒8道装备2.1mx2.9mx2m
  重叠5道装备1.5mx2.4mx2m
 
片盒5道装备 2.1mx2.5mx2m
合用Wafer尺寸 125x125mm/156x156mm(±0.5mm)
装备产能 4300pics/h(可定制)  
破片率 <0.03% (硅片本身缺点除外)  
 

  产物特征:
 
  不中断重叠上料,保证产能晋升
  可选上料隐裂、双片检测模块
  可选下料水迹、破片检测模块
  专利吹气机构,有用下降叠片及破片率
  便利式设置装备摆设页面,可自在设置各个参数
  活动部件宁静防护,保证人身宁静
  优化的布局设想,占地空间小

  操纵界面: 


    硅片高低料操纵界面

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