概述
接纳TOPSTEK洗濯高低料机，共同硅片洗濯装备利用，未来料硅片由承载盒或花篮主动装载到洗濯装备中；待洗濯实现后，由皮带保送机装载到客户指定片盒内。 经由过程利用TOPSTEK洗濯高低料机，可取代野生操纵，下降野生功课强度及硅片碎片率，削减报酬二次净化，进步良率及产能。
接纳TOPSTEK洗濯高低料机，共同硅片洗濯装备利用，未来料硅片由承载盒或花篮主动装载到洗濯装备中；待洗濯实现后，由皮带保送机装载到客户指定片盒内。 经由过程利用TOPSTEK洗濯高低料机，可取代野生操纵，下降野生功课强度及硅片碎片率，削减报酬二次净化，进步良率及产能。
- 硅片洗濯主动高低料机
传统野生上料会形成硅片净化及破片，影响产物良率，华侈装备产能。
接纳TOPSTEK洗濯高低料机，共同硅片洗濯装备利用，未来料硅片由承载盒或花篮主动装载到洗濯装备中；待洗濯实现后，由皮带保送机装载到客户指定片盒内。
经由过程利用TOPSTEK洗濯高低料机，可取代野生操纵，下降野生功课强度及硅片碎片率，削减报酬二次净化，进步良率及产能。
TOPSTEK洗濯高低料机，可集成MVC隐裂、水迹、双片、破片检测模块，晋升产物良率，为客户节流大批资本，有用下降本钱。
产物规格：
产物规格：
| 装备尺寸 | 重叠8道装备 1.5mx2.9mx2m | |
| 片盒8道装备2.1mx2.9mx2m | ||
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重叠5道装备1.5mx2.4mx2m 片盒5道装备 2.1mx2.5mx2m |
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| 合用Wafer尺寸 | 125x125mm/156x156mm（±0.5mm） | |
| 装备产能 | 4300pics/h（可定制） | |
| 破片率 | <0.03% (硅片本身缺点除外) | |
产物特征：
不中断重叠上料，保证产能晋升
可选上料隐裂、双片检测模块
可选下料水迹、破片检测模块
专利吹气机构，有用下降叠片及破片率
便利式设置装备摆设页面，可自在设置各个参数
活动部件宁静防护，保证人身宁静
优化的布局设想，占地空间小
操纵界面：
