
接纳TOPSTEK洗濯高低料机,共同硅片洗濯装备利用,未来料硅片由承载盒或花篮主动装载到洗濯装备中;待洗濯实现后,由皮带保送机装载到客户指定片盒内。 经由过程利用TOPSTEK洗濯高低料机,可取代野生操纵,下降野生功课强度及硅片碎片率,削减报酬二次净化,进步良率及产能。
- 硅片洗濯主动高低料机
产物规格:
装备尺寸 | 重叠8道装备 1.5mx2.9mx2m | |
片盒8道装备2.1mx2.9mx2m | ||
重叠5道装备1.5mx2.4mx2m 片盒5道装备 2.1mx2.5mx2m |
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合用Wafer尺寸 | 125x125mm/156x156mm(±0.5mm) | |
装备产能 | 4300pics/h(可定制) | |
破片率 | <0.03% (硅片本身缺点除外) |
产物特征:
不中断重叠上料,保证产能晋升
可选上料隐裂、双片检测模块
可选下料水迹、破片检测模块
专利吹气机构,有用下降叠片及破片率
便利式设置装备摆设页面,可自在设置各个参数
活动部件宁静防护,保证人身宁静
优化的布局设想,占地空间小
操纵界面: